等離子清洗機

更新時間：2025-06-01

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簡要描述：

PDC200/210/510等離子清洗機
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發的小型。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

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產品介紹

PDC200/210/510等離子清洗機

高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發的小型等離子清洗機。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

用途

●CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

●去除有機膜和金屬氧化膜

●印刷電路基板的干式清洗

●界面活性處理

●LED封裝

特征

●DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）

●RIE模式

●均勻性高的電極構造

●操作簡單的觸摸屏控制器

規格

型號	PDC200	PDC210	PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）		RIE/DP
電極構造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
控制·顯示	液晶觸摸屏
反應室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
電極尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反應室材質	鋁
反應氣體	2系統（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應氣體流量控制	流量計	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標配	油泵（約500L/分）標配
氣體導入口	反應氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	約100kg	約105kg	約180kg
電源	單相 AC100V 10A	三相AC200V 6A	三相AC200V 8A